Termisk Massaflödesmätning och -reglering från Teledyne Hastings Instruments
Termisk massflödesmätning och -reglering
Väsentliga egenskaper*:
Mätnings- och reglerområden:
+ Flödesmätare: 0 – 5 sccm till 0 – 15,000 slm (N2-ekvivalent)
+ Flödesregulator: 0 – 5 sccm till 0 – 10,000 slm (N2-ekvivalent)
+ Hög mätprecision: ±(0.2% av slutvärdet + 0.5% av mätvärdet)
+ Hög reproducerbarhet: ±0.05% av slutvärdet
+ Korta svarstider
+ Lågt tryckfall
+ Metall- eller elastomer-tätad
+ Hög tryckbeständighet: upp till 34 bar eller högre (68 bar valfritt)
+ Strömförsörjning: 11-36 VDC unipolär eller bipolär (t.ex. +24 VDC, ±15 VDC)
+ Analoga utgångar: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA
+ Ställdata: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA
+ Digitala gränssnitt: RS232, RS485, USB
+ Mekaniska anslutningar: Swagelok, VCR, VCO eller fläns
+ NIST-spårbar kalibrering
*beroende på modellserien